%0 Journal Article
%T X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用
%A 林世鸣
%A 高洪海
%A 张春辉
%A 吴荣汉
%A 庄岩
%A 王玉田
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 本文利用Ｘ光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器（ＶＣＳＥＬ）的分布布喇格反射境（ＤＢＲ）的特性曲线进行了模拟研究．从中得到ＤＢＲＡｌＡｓ／ＡＩｘＧａ１－ｘＡｓ的厚度及组分ｘ值，应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算，并与实验所测得的ＤＢＲ反射谱进行比较，得到了证实．我们应用这套方法指导ＶＣＳＥＬ外延片的生长，获得了良好的结果．
%K DBR
%K VCSEL
%K X射线双晶衍射
%K 激光器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F980A9D2DF1F7320&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=E158A972A605785F&sid=4290346F7268639E&eid=89AC6B0ADBEA2741&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=4