%0 Journal Article
%T 离子溅射在GaP极性表面引起的损伤及其消除
%A 卢学坤
%A 侯晓远
%A 丁训民
%A 王迅
%J 半导体学报
%D 1994
%I 
%X 离子束处理在器件工艺和材料表征技术中有着广泛的应用．本文采用低能电子衍射、Ｘ光电子能谱和角分辨紫外光电子能谱对ＧａＰ极性表面经Ａｒ离子溅射后的损伤情况进行了研究．主要探讨表面损伤及其消除、表面能带弯曲等问题．
%K 磷化镓
%K 离子溅射
%K 极性
%K 半导体表面
%K 损伤
%K 消除
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9B3D84E7F21652BB&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=708DD6B15D2464E8&sid=C8C16F05E379B334&eid=89FA2FA9891FF61E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=4