%0 Journal Article
%T 非晶薄膜晶化的频谱研究
%A 谭辉
%A 陶明德
%A 李彬彬
%J 半导体学报
%D 1994
%I 
%X 选择一定的退火温度和退火时间，ＣｏＭｎＮｉＯ非晶薄膜可以晶化为晶粒尺寸几个至几十个纳米的微晶薄膜．复阻抗频谱和电导频谱研究表明，这种微晶薄膜的粒间效应增强，在一定频率范围内微晶薄膜的电导低于非晶薄膜的电导．认为这种微晶薄膜的粒间组成是许多个原子尺度大小的无规网络，微晶薄膜的结构为纳米晶粒和非晶网络组成的两相结构，电导符合多渠道导电模型．
%K 非晶半导体
%K 非晶薄膜
%K 晶化
%K 频谱
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C982F0C57A174E1D&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=708DD6B15D2464E8&sid=9409F3EB075DCD5B&eid=3D8AB54CA690066A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=6