%0 Journal Article
%T Ohmic Contact Performance Between Ti/Al/Ti/Au and AlGaN<br>Ti/Al/Ti/Au与AlGaN欧姆接触特性
%A 张锦文
%A 张太平
%A 王玮
%A 宁宝俊
%A 武国英
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 研究了溅射 Ti/ Al/ Ti/ Au四层复合金属与 Al Ga N / Ga N的欧姆接触特性 ,并就环境温度对欧姆接触特性的影响进行了分析研究 .试验证实 :溅射的 Ti/ Al/ Ti/ Au与载流子浓度为 2 .2 4× 10 1 8cm- 3的 Al Ga N之间在室温下无需退火即可形成欧姆接触 .随快速退火温度的升高接触电阻降低 .快速退火时间 30 s已可实现该温度下最佳欧姆接触 .当工作温度不高于 30 0℃时接触电阻几乎不受温度的影响
%K AlGaN
%K Ti/Al/Ti/Au
%K Ohmic contact<br>AlGaN
%K Ti/Al/Ti/Au
%K 欧姆接触
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7A2742355ADFEAC7&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=B31275AF3241DB2D&sid=8CC50269EED5BB47&eid=3EE58D91F4253193&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=8&reference_num=8