%0 Journal Article
%T 在硅微尖上生长金刚石膜的研究
%A 元光
%A 金亿鑫
%A 金长春
%A 宋航
%A 张宝林
%A 宁永强
%A 蒋红
%A 周天明
%A 李树伟
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究．
%K 硅微尖
%K 金刚石膜
%K 硅
%K 生长
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=141D849D6A0A0A14&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=CA4FD0336C81A37A&eid=38B194292C032A66&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=8&reference_num=1