%0 Journal Article
%T AlGaAs／GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究
%A 庄岩
%A 王玉田
%A 李建中
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 用Ｘ射线运动学的多层膜干涉理论，模拟计算了ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ超晶格Ｘ射线双晶衍射摇摆曲线．提出了一种具有整数分子层的界面过渡层理论模型，并运用此理论研究了零级卫星峰的峰峰位的漂移，过渡层对超晶格卫星峰强度的影响以及低级卫星峰的规律性消光规律．
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=664D7B3865E535B8&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=94C357A881DFC066&sid=9DC563A0FEFC04F9&eid=302684F6FB4B24FF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0