%0 Journal Article
%T Si-SiO_2-Al_2O_3结构的电子束辐照效应
%A 林理彬
%A 田景文
%A 谢建华
%A 陈伯英
%A 唐方元
%A 熊文树
%A 林茂清
%J 半导体学报
%D 1982
%I 
%X <正> 本文介绍了Si-SiO_2-Al_2O_3系统的电子束辐照及实验结果,定性地讨论了辐照能量、剂量及剂量率的影响.根据辐射效应,我们认为Al_2O_3-SiO_2及Al_2O_3-Si结构中Al_2O_3膜内靠近界面处存在有受主型界面态,表现出负电荷性质,辐射的电离效应进一步增强了界面的负电荷效应.同时实验结果还表明电子轰击引起了硅中杂质在界面附近的再分布.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=298F433F0D2928A07F3C041E000C097B&yid=3F3D540C9B7906DE&vid=38B194292C032A66&iid=0B39A22176CE99FB&sid=70AC2EF7F2065E09&eid=E2546871E5B846EF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0