%0 Journal Article
%T 微波无损伤法测半导体材料电阻率
%A 王宗欣
%A 赵惠芬
%A 胡鸣华
%J 半导体学报
%D 1982
%I 
%X <正> 1.计算方法 采用介质波导作为微波传输线测量样品的电阻率时,可将样品放在两根介质波导之间,如图1所示,可不必将样品切割成一定的形状,且由于介质波导的截面尺寸比样品小得多,因此可以较方便地确定同一块材料上不同部位电阻率的差异.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A73C8F60D156ED94DC2C00BE963A930A&yid=3F3D540C9B7906DE&vid=38B194292C032A66&iid=0B39A22176CE99FB&sid=2922B27A3177030F&eid=2DBBF45CC176713E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0