%0 Journal Article
%T 光荧光法测定硅中磷、硼含量
%A 孟庆惠
%A 于鲲
%A 李永康
%A 许振嘉
%A 陈廷杰
%A 吴灵犀
%A 徐寿定
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 本文介绍了用液氮温度光荧光谱测定硅中磷、硼含量的方法.磷、硼浓度的校准曲线由变温霍耳系数的实验结果所确定.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=090BEF7E6984B5B9E43EC515EA179A19&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=7AA74D31F1FF2DCE&eid=CFAC5CB624A41AFD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0