%0 Journal Article %T ECL1024字×1位随机有储器 %A 张敏 %A 杨华丽 %A 罗杏珍 %A 余北梁 %A 陈明琪 %A 郑应杨 %J 半导体学报 %D 1982 %I %X 研制成功的 ECL 1024字 ×1位随机存储器的地址取数时间为 20ns、功耗 500mW、芯片面积 11.4mm~2.它是高速电子计算机不可缺少的关键性器件.采用 4μm设计原则以及薄外延层、浅结、漂发射区和双层金属有线等工艺。本文报道了设计、工艺以及性能特点. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=560CA113EE975CB476287EB7D93BD6CD&yid=3F3D540C9B7906DE&vid=38B194292C032A66&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=68D88C2FCF9C3098&eid=80A07035DF96B0C4&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0