%0 Journal Article
%T GaAs三元异质外延层厚度测量的X射线衍射比强度法
%A 杨传铮
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 基于对称Bragg反射几何、动力学衍射强度和运动学吸收效应,推导了多层外延系统各层厚度与衍射强度比的方程组.比强度由实验测出,于是可测各外延层的厚度.实验结果表明,上述处理对多层近完整晶体是适用的.最后,还简要讨论了影响厚度测量的诸因素,指出探测器和记录系统的线性可靠性及衍射峰的分离尤为重要.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DEFB01E70816495D8CBE871ACB4EF12D&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=E2546871E5B846EF&eid=1B97AE5098AEB49C&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0