%0 Journal Article
%T 用硅烷和乙烯辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究
%A 陈光华
%A 张仿清
%A 杜宁
%A 徐希翔
%A 黄士生
%A 刘智
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 本文主要介绍应用辉光放电法制备的,光电性能优良的 a-S1_xC_1 x: H 薄膜的最佳工艺条件、红外吸收光谱、光学带隙E_(opt)同x的关系、ESCA和ESR的测量结果,井对这些实验结果进行了初步讨论.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A4A33F8B4F3975D3C3D0A72496B2D5DC&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=EB552E4CFC85690B&eid=D59111839E7C8BDF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0