%0 Journal Article
%T LC3型离子注入机的研制和应用
%A 屈保春
%J 半导体学报
%D 1982
%I 
%X 本文论述了LC3型离子注入机的物理设计和调试过程中遇到的主要问题及其解决办法,并且简介了调试结果和应用情况.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=176AD0C6593210BE1370609A9C1FE765&yid=3F3D540C9B7906DE&vid=38B194292C032A66&iid=0B39A22176CE99FB&sid=2B5DE8A23DCEED39&eid=6FBD78E3BAB60869&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0