%0 Journal Article
%T 染料脉冲激光诱导扩散
%A 谢宗钧
%A 黄乐斌
%A 刘世祥
%A 姚德成
%A 石万全
%J 半导体学报
%D 1984
%I 
%X 叙述了一种在硅表面涂敷受主或施主杂质后用染料激光脉冲辐照制得掺杂簿层的技术.对掺杂薄层的物理特性进行了分析,探讨了掺杂过程的机构.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=234D9B1653D8273B&yid=36250D1D6BDC99BD&vid=94C357A881DFC066&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=6270DC1B5693DDAF&eid=4BB057F167CF3A60&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0