%0 Journal Article
%T 离子注入型蓝光灵敏的光电探测器
%A 孙宝寅
%A 刘玉兰
%A 李文年
%A 江剑平
%A 王振明
%J 半导体学报
%D 1985
%I 
%X 报道了离子注入CW CO_2 激光退火硅光电二极管的结果.激光退火工艺与热退火工艺进行了比较,表明这种器件具有峰值响应波长短、蓝光灵敏度高等优点.在波长为4000A时量子效率达0.64.通过测量结深、杂质浓度分布及缺陷的观测,解释了CW CO_2激光退火工艺优于热退火工艺的原因.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=FCD87F2DCAA4DA8132DB829213522192&yid=74E41645C164CD61&vid=B31275AF3241DB2D&iid=E158A972A605785F&sid=DA74B62FE4348759&eid=216EFB25F7F834CC&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0