%0 Journal Article
%T 电子辐照激活硅中不激活铜的DLTS测量方法
%A 陈开茅
%A 钱思敏
%A 兰李桥
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 一般情况下,硅中的铜只有很小—部分是电激活的.因此当硅中含铜量微小时,就难于用DLTS等方法来测量它.本文提出一个用电子辐照使硅中不激活的铜电激活并用DLTS测量的方法.这对于检测硅材料中铜污染很有用处.文中还提出一个能比较准确地估算深能级平均浓度的公式.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=717D129A4E56E1C4&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=38B194292C032A66&sid=51C74DF6A16DA45B&eid=C2F76551C0111538&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0