%0 Journal Article
%T In_(1-x)Ga_xAs液相外延片组分一致性的控制方法
%A 彭少近
%A 卢文宏
%A 郑国宪
%J 半导体学报
%D 1985
%I 
%X 用电子探针微区分析和阴极荧光研究了LPE生长In_(1-x)Ga_xAs(x～0.47)时用逐次降低生长起始温度T_g的方法生长的外延片.结果表明,采用这种方法可以多次使用生长溶液,得到组分一致性比较好的In_(1-x)Ga_xAs(x～0.47)外延片.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=98E86EF0EE5CAD74F8EFE89E07342370&yid=74E41645C164CD61&vid=B31275AF3241DB2D&iid=38B194292C032A66&sid=A2745AA1110798CA&eid=EC34D52BE81085CE&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0