%0 Journal Article
%T 用改进的图形结构测量金属/薄层半导体的接触电阻率
%A 华文玉
%A 陈存礼
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 提出一种诊断金属／薄层半导体欧姆接触质量的改进测试图形──单点圆环结构模型．本结构不仅样品制备简单，只需做上一个小圆点和一个同心的圆环接触，无需台面绝缘，而且还有多样的灵活性．整个测试都是定域在一个小圆环内，无需考虑边界效应以及邻近其他图形的影响．发展和讨论了此模型的两种演变结构形式，使之更为简捷实用．所得结果与文献的报道一致．
%K 欧姆接触
%K 金属／薄层
%K 半导体
%K 接触电阻
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=8089318E5EF72977&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=708DD6B15D2464E8&sid=11632AEF1E1F2092&eid=BE05E2A2B7E55AA9&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=6