%0 Journal Article
%T Effects of Sputtering Parameter on Optical Constants of Ge2Sb2Te5 Thin Films<br>溅射参数对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响
%A 谢泉
%A 侯立松
%A 阮昊
%A 干福熹
%A 李晶
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 研究了溅射参数对 Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化关系的影响 ,结果表明 :(1)当溅射功率一定时 ,随溅射氩气气压的增加 Ge2 Sb2 Te5 薄膜的折射率先增大后减小 ,而消光系数先减小后增大 .(2 )当溅射氩气气压一定时 ,对于非晶态薄膜样品 ,在 5 0 0 nm波长以下 ,折射率随溅射功率的增加先增加后减小 ,消光系数则逐渐减小 ;在 5 0 0 nm以上 ,折射率随溅射功率的增加逐渐减少 ,消光系数先减小后增加 .对于晶态薄膜样品 ,在整个波长范围折射率随溅射功率的增加先减小后增加 ,消光系数则逐渐减少 .(3)薄膜样品的光学常数都随波长的变化而变化 ,在长波
%K optical constants
%K Ge
%K 2Sb
%K 2Te
%K 5 thin films
%K sputtering parameter<br>光学常数
%K Ge2Sb2Te5薄膜
%K 溅射参数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=0069469DE17C25E0&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=0B39A22176CE99FB&sid=3E0812ED84A7B31D&eid=C29816B2656377A7&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0