%0 Journal Article
%T Sensitivity and Performance of Nanomechanical Electro-Thermal Probe<br>硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
%A Yang Zunxian
%A Li Xinxin
%A Wang Yuelin
%A Bao Haifei
%A Liu Min
%A Lu Deren
%A <br>杨尊先
%A 李昕欣
%A 王跃林
%A 鲍海飞
%A 刘民
%A 陆德仁
%J 半导体学报
%D 2004
%I 
%X 阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加热电阻与温度间二次关系曲线 .在此基础上对器件进行微秒级瞬态电热特性分析和测试 ,测试结果与理论计算结果和有限元模拟结果都有较好的吻合 .测试结果表明在 4 V脉冲电压下 ,加热时间为 3μs时 ,针尖温度达到 4 6 3.1 5 K,相应的加热电阻的降温时间常数为 6 .2 μs,数据写入速度达到近百 k Hz.悬臂梁上的压阻器件敏感
%K cantilever
%K tip probe
%K nano
%K electromechanical
%K system
%K technology
%K piezoresistance sensitivity
%K electro
%K thermal nano
%K tip
%K data
%K storage technology<br>悬臂梁-针尖探针
%K 纳机电系统技术
%K 压阻敏感
%K 电热纳米针尖
%K 数据存储技术
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C1FFCB301BAF34F1&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=AD0A5DE51C29AB9F&eid=B84F2E0A99FDC89A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=5