%0 Journal Article
%T 集成三漏CMOS磁敏传感器
%A 张维新
%A 楼利民
%A 毛赣如
%J 半导体学报
%D 1993
%I 
%X 本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS工艺完全兼容,成本低、易于批量生产,具有高的性能/价格比。
%K 磁敏传感器
%K 传感器
%K CMOS
%K MOSFET
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=BD6A6C323A8A142E&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=4964C30D71DF45FF&eid=C7461453A367FC85&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0