%0 Journal Article
%T 硅中金杂质分布的测量
%A 周洁
%A 王杏华
%A 李树英
%J 半导体学报
%D 1981
%I 
%X <正> 本文利用电容瞬态法,测量了扩金工艺制备的二极管中金杂质的分布.由泊松方程已知,从电容瞬态法得到的△C可表示为:
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7BA94A96252282AF6BA112694FACB200&yid=AA64127AB7DEB65D&vid=0B39A22176CE99FB&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=4F2F18DD6F870C2C&eid=B9704B40A4225A24&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0