%0 Journal Article
%T 差示光谱法测定硅中的氧和碳
%A 许振嘉
%A 江德生
%A 宋春英
%A 孙伯康
%A 刘江夏
%J 半导体学报
%D 1981
%I 
%X 本文提出了一种利用差示光谱测定硅中氧、碳含量的方法.对于该方法的误差进行了讨论.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=5CB011F721263CFF75AF8E756488A245&yid=AA64127AB7DEB65D&vid=0B39A22176CE99FB&iid=0B39A22176CE99FB&sid=7555FB9CC973F695&eid=B344543C2864D684&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0