%0 Journal Article
%T 四探针测圆形薄片电阻率的计算公式
%A 陈学全
%A 包德修
%J 半导体学报
%D 1981
%I 
%X <正> 在一直线上等距离排列的四探针测薄圆片的电阻率ρ时,当圆片厚度W小于探针间距S的一半以上,且探针沿圆片径向方向排列,并以圆心为对称中心的情形,其计算公式已由F.M.Smits给出,
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=5CC1B3B12D96A8B938EC981305B1C3BE&yid=AA64127AB7DEB65D&vid=0B39A22176CE99FB&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=67969BA850333433&eid=E44E40A2398D4F2A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0