%0 Journal Article
%T 绝缘边界对扩展电阻测量的影响
%A 陈存礼
%J 半导体学报
%D 1982
%I 
%X 本文根据镜象法的原理,从理论上导出了不同情况下,直线形和圆形绝缘边界对扩展电阻测量影响的数学表达式,并用实验加以证实.在磨角的斜面上进行纵向杂质浓度分布的扩展电阻测量时,必须计及结附近绝缘边界的修正,以免导致错误.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3B653600051B01720FE748E81FDB1BBF&yid=3F3D540C9B7906DE&vid=38B194292C032A66&iid=38B194292C032A66&sid=3D9746C06EC12B45&eid=797D49279EA93BC4&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0