%0 Journal Article
%T 锗硅单晶扩散系数理论探讨及各晶向扩硼实验
%A 陈忠景
%A 陈为民
%A 林政伟
%J 半导体学报
%D 1987
%I 
%X 本文从杂质原子在锗硅单晶三个主要晶向的扩散模型着手,对各晶向的扩散系数进行理论推导,得出了扩散系数各向同性的结论;介绍了实验结果,并给出硼在硅单晶三个主要晶向的扩散系数随温度变化的关系曲线;最后探讨了理论与实验偏离的原因.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C429592C4FAB4DE17443D47D3E5416B0&yid=9C2DB0A0D5ABE6F8&vid=5D311CA918CA9A03&iid=E158A972A605785F&sid=9BA67A0B76A3DBA8&eid=4BEA9A781F286FC6&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0