%0 Journal Article
%T 电化学法测定Si多层结构材料浓度分布
%A 陈自姚
%A 邵永富
%A 朱福英
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 本文报道在研究Si/EL电极过程基础上,将电化学C-V技术用于测定适合VLSI用的双极型晶体管多层结构材料的载流子浓度剖面分布.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=B050311CD0D19A71&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=94C357A881DFC066&sid=B4F9D541F855CF96&eid=2497388423811B81&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0