%0 Journal Article
%T MBE GaAs/AlAs一维超晶格结构参数的X射线双晶衍射测量
%A 王玉田
%A 陈宗圭
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 用X射线双晶衍射法测定了MBE GaAs/AlAs一维超晶格的衍射迥摆曲线.除超晶格的主衍射峰外,还观察到一级和二级卫星峰.由这些衍射峰之间的角距离△θ,计算出超晶格的周期宽度D,进而确定AlAs层厚L_B和GaAs层厚L2.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=300D8201C0CEAA99&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=94C357A881DFC066&sid=AF0641F74554D706&eid=68FF5306A8F9C315&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=7&reference_num=0