%0 Journal Article
%T 磷砷化镓离子注入层的CW CO_2激光退火研究
%A 马景林
%A 周瑞英
%A 李国辉
%A 阎凤章
%J 半导体学报
%D 1984
%I 
%X 本文对N、Zn离子注入GaAs_(1-x)Px材料之后,用连续CO_2激光束进行退火作了研究.晶格恢复、注入杂质的激活率和光致发光的实验测量结果表明,CO_2激光退火的效果优于常规热退火.本文对CO_2激光退火效果优于热退火的原因作了初步的解释.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E3C985BAC880B312&yid=36250D1D6BDC99BD&vid=94C357A881DFC066&iid=B31275AF3241DB2D&sid=5AE7FA263C8A6D65&eid=DA280A426E11FC95&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0