%0 Journal Article
%T A Fully Integrated Flow Sensor<br>全集成式流量传感器
%A Huang Jinbiao/Microelectronics Center
%A Nanjing Institute of TechnologyLi Bin/Microelectronics Center
%A Nanjing Institute of TechnologyTong Qinyi/Microelectronics Center
%A Nanjing Institute of TechnologyZhou Ming/Yangzhou Semiconductor Factory
%A <br>黄金彪
%A 李斌
%A 童勤义
%A 周明
%J 半导体学报
%D 1989
%I 
%X 本文介绍了利用恒定芯片温度原理工作的全集成式流量传感器,它由三部分组成.CMOS温度敏感级、CMOS运放和加热部分,这三部分由CMOS工艺集成在同一芯片上,不需附加工艺.本文在给出温度敏感级的理论分析和流量传感器工作原理的介绍后,报道了传感器用于气体流速(氮气)和液体(水)流速的测量结果,结果表明,该传感器具有如下特点:输出电平和灵敏度高(在传感器芯片温度T_c与流体温度了T_f之差为15℃、流速V_f为50cm/s的氮气条件下,传感器的输出可达500毫伏);响应时间快(在T_c-T_f=5℃、V_f=50cm/s时,响应时间为7秒);芯片尺寸小(2.02×1.62mm~2);成本低(因用普通工艺);用单5伏电源工作与微处理机自然接口等.对水流流速的试验还表明,该传感器特别适合于低流速水的测量.
%K Sensor
%K Flow sensor
%K Integrated sensor
%K CMOS temperature sensor<br>集成传感器
%K 流量传感器
%K CMOS
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=D2042373EA47B17C&yid=1833A6AA51F779C1&vid=F3090AE9B60B7ED1&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=E514EE58E0E50ECF&eid=1D0FA33DA02ABACD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=4&reference_num=3