%0 Journal Article
%T MCZ技术的研究
%A 周士仁
%A 纪彦蜀
%A 孔庆茂
%A 高元恺
%A 王守雨
%A 韩长林
%A 傅择国
%J 半导体学报
%D 1987
%I 
%X 本文在概述了 MCZ(Magnetic-field-applied CZ)技术的理论基础上,介绍了由作者们所研制的两种新型MCZ 硅单晶炉——“Y”形磁场和螺旋管全封闭式非线性磁场硅单晶炉,并在横向分量为1300G垂直分量为700G的“Y”形磁场中拉制出了MCZ 硅单晶.对氧含量和掺杂浓度的测量及对微观结构的初步观察表明,所设计的新型磁场单晶炉,可明显地提高硅单晶的掺杂均匀性和结构完整性.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=86C63D31A79BEAB88E4F7AFDFB56EF4C&yid=9C2DB0A0D5ABE6F8&vid=5D311CA918CA9A03&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=96C778EE049EE47D&eid=9971A5E270697F23&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0