%0 Journal Article
%T 平面型器件欧姆接触的衡量——圆形传输线模型外推法
%A 陈存礼
%A 徐世晖
%J 半导体学报
%D 1987
%I 
%X 本文提出一个衡量平面型器件欧姆接触的新方法——圆形传输线模型外推法.样品无需台面绝缘,只须一次合金化即能完成测试结构图形.用圆形传输线模型导出了测量接触电阻率ρ_c的表达式,以硅和砷化镓两种半导体材料进行验证,与线性传输线模型的结果一致.讨论了接触电极之下与接触电极之外薄层电阻差异的影响.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=04FA62EBDE423FA8E277FD65EA8D0D19&yid=9C2DB0A0D5ABE6F8&vid=5D311CA918CA9A03&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=331211A5F5616413&eid=6270DC1B5693DDAF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0