%0 Journal Article
%T 高压大电流晶闸管受主双质掺杂新技术的研究
%A 刘秀喜
%A 薛成山
%A 林玉松
%A 孙瑛
%A 庄惠照
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 针对现行Ｐ型杂质扩散工艺的不足，开展了受主双质掺杂新技术的研究．经对比实验和工艺论证，首先研究成功开管铝镓一步扩散法．应用证明，该项技术用于制造高压大电流晶闸管是可行的，产品电参数一致性和综合性能好，合格率高，为电力半导体器件研究和生产开创了一条先进的工艺途径．
%K 晶闸管
%K 高电压
%K 大电流
%K 受主双质掺杂
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3BC633F14568FCDC&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=5D311CA918CA9A03&sid=7E2D9DFE40003B3F&eid=9BF3B0483F192149&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=3