%0 Journal Article
%T 一种显示N~+-GaAs多种缺陷的阳极腐蚀法
%A 曹福年
%J 半导体学报
%D 1980
%I 
%X 本文描述一种电解液为KOH水溶液的阳极腐蚀法.通过与一些有效的缺陷显示化学腐蚀剂对照,证实此法能显示N~+-GaAs任何取向平面的生长条纹、位错和碟形坑等多种缺陷.这些碟形坑可能与存在于晶体中的层错环有关系.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9ABA60CFD794D1ECA6D5330F37F92CF2&yid=E56875464B1C0EC1&vid=CA4FD0336C81A37A&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=42425781F0B1C26E&eid=ECE8E54D6034F642&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0