%0 Journal Article
%T Au-Si共晶合金液态金属离子源
%A 张立宝
%A 葛璜
%A 马祥彬
%A 凌仲珪
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 采用原子比为Si(31％),Au(69％)的金硅合金,研制成了Au-Si共晶合金液态金属寓子源.描述了该离子源的制作方法、I-V特性、不同源电流情况下各种离子流峰值的变化.讨论了质谱分析结果.长时间地测量了离子流各组分Si~+、Si~(++)、Si_2~+、Au~+、Au~(++)的百分比变化情况.源的寿命大于140小时.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DF4EA5A02432D872&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=B31275AF3241DB2D&sid=C6FC2A9EA7E6C4B9&eid=93661EC4C0CCEA67&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0