%0 Journal Article
%T a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的制备及其性质
%A 王志超
%A 刘湘娜
%A 何宇亮
%A 吴汝麟
%J 半导体学报
%D 1987
%I 
%X 本文报道了a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的制备方法、结构以及在光学方面的量子尺寸效应.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=1AF0869A7B826881&yid=9C2DB0A0D5ABE6F8&vid=5D311CA918CA9A03&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=BB0EA31DB1B01173&eid=10F298ED9F164662&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0