%0 Journal Article
%T 非晶硅膜爆发结晶中的螺线形成机理
%A 陈治明
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 某些非晶硅薄膜在弧光诱发的晶化过程中有时会在其辐射状晶区形成多种形状的螺线.这些螺线是生长中的晶体与爆发结晶过程中的热漏等阻遏机构相互作用的结果.阻遏机构的存在通常与这些薄膜的不均匀性有关.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=CF05F4377573E10E&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=331211A5F5616413&eid=03F1579EF92A5A32&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0