%0 Journal Article
%T 高速台型硅雪崩光电二极管的研制
%A 代振华
%A 解金山
%A 夏应华
%A 王俊卿
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 为满足大容量,长距离光纤通信和其它快速微弱光信号的探测,我们采用化学腐蚀和表面钝化技术,研制成功了具有近乎直台角的N~+PP~+硅雪崩光电二极管(MAPD).该器件具有工艺简单,成本低,响应速度快等优点.并且有长期工作的稳定性.文中详细地讨论了器件结构的设计,并概述了制造方法和光电特性.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=03EDB5055A38DB68F9F0582A6049CEF6&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=94C357A881DFC066&sid=F18BA6286A889C1C&eid=07C6E4664BB7C5DA&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0