%0 Journal Article %T MOS界面态电荷瞬态谱方法 %A 郑心畬 %A 李志坚 %J 半导体学报 %D 1985 %I %X 在作者先前发表的脉冲Q(V) 法的基础上,本文提出了MOS 界面态电荷瞬态谱(MQTS)方法.该方法利用单一P型或N型样品在恒定温度T之下测量小能量间隔△E(△E %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=06045515A09F9EC0B76F3E346E3F2E78&yid=74E41645C164CD61&vid=B31275AF3241DB2D&iid=94C357A881DFC066&sid=D9202C57BAB9096F&eid=3FC4D669D19FF0C6&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0