%0 Journal Article
%T Preparation and Electrical Properties of LiTa3O8 Thin Films<br>LiTa3O8薄膜制备与电性能研究
%A ZHANG De-Yin
%A HUANG Da-Gui
%A LI Jin-Hua
%A LI Kun
%A <br>张德银
%A 黄大贵
%A 李金华
%A 李坤
%J 无机材料学报
%D 2008
%I Science Press
%X 以乙醇锂和乙醇钽为起始反应物, 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了新型钽酸锂LiTa3O8铁电薄膜. 经XRD图谱对比, 该薄膜结构不同于LiTaO3晶体结构, 与正交相结构类似. SEM分析显示经过750℃结晶退火的LiTa3O8薄膜表面均匀平整无裂纹, 膜厚约为1μm. 实验结果表明, 在450kV/cm时, LiTa3O8薄膜剩余极化强度Pr为9.3μC/cm2, 矫顽场强Ec为126.8kV/cm; 在9.5kV/cm时, LiTa3O8薄膜漏电电流为8.85×10-9A/cm2, 比LiTaO3薄膜漏电小; 在1kHz时, LiTa3O8薄膜介电常数为58.4, 介电损耗为0.26. 溶胶-凝胶法制备的 LiTa3O8薄膜结晶温度比LiTaO3薄膜高50℃以上.
%K ferroelectric thin film
%K LiTa3O8
%K sol-gel
%K ferroelectric properties
%K dielectric properties<br>铁电薄膜
%K LiTa3O8
%K sol-gel
%K 铁电性能
%K 介电性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=0C05F6D66305918F1FF51AB94CB03CD3&yid=67289AFF6305E306&vid=EA389574707BDED3&iid=B31275AF3241DB2D&sid=2D52C01434B71375&eid=CEBE8025959B35C7&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=13