%0 Journal Article
%T Microwave Electromagnetic Properties of Discontinuous CoFeB-SiO2 Magnetic Multilayer Films<br>CoFeB-SiO2磁性不连续多层颗粒膜微波电磁特性
%A JIANG Jian-Jun
%A MA Qiang
%A BIE Shao-Wei
%A DU Gang
%A LIANG Pei
%A HE Hua-Hui
%A <br>江建军
%A 马 强
%A 别少伟
%A 杜 刚
%A 梁 培
%A 何华辉
%J 无机材料学报
%D 2008
%I Science Press
%X 采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替溅射工艺,制备了CoFeB-SiO2系列纳米不连续多层磁性颗粒膜,并对制备的薄膜样品进行了不同温度下的退火处理.实验结果表明,通过调整SiO2绝缘介质相含量及磁场退火温度可有效地调控薄膜微结构和微波电磁特性.制备的薄膜样品在GHz微波频段同时具有高磁导率和高磁损耗,1.5GHz处薄膜复相对磁导率实部和虚部均大于260,同时电阻率高达1.38mΩ·cm.该薄膜样品可应用于微波吸收材料和抗电磁干扰的设计中.
%K CoFeB-SiO2
%K discontinuous multilayer
%K microwave electromagnetic
%K complex permeability<br>CoFeB-SiO2
%K 不连续多层膜
%K 微波电磁特性
%K 复磁导率
%K 磁性
%K 连续
%K 颗粒膜
%K 微波电磁特性
%K Multilayer
%K Films
%K Magnetic
%K Discontinuous
%K Properties
%K Electromagnetic
%K 设计
%K 抗电磁干扰
%K 微波吸收材料
%K 应用
%K 电阻率
%K 相对磁导率
%K 薄膜微结构
%K 磁损耗
%K 高磁导率
%K 微波频段
%K 调控
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=D402C819DCA14C1AA8522253D877950F&yid=67289AFF6305E306&vid=EA389574707BDED3&iid=0B39A22176CE99FB&sid=CAA7BAE04CB631A1&eid=5D8C08279A19B0D4&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=12