%0 Journal Article
%T Fabrication of Reaction-Sintered SisN4 Ceramic Microrotors<br>反应烧结Si3N4陶瓷微型转子的制备
%A LI Jing-Feng
%A Sugimoto Shinya
%A Tanaka Shuji
%A Esashi Masayoshi
%A <br>李敬锋
%A 杉木真也
%A 田中秀治
%A 江刺正喜
%J 无机材料学报
%D 2003
%I Science Press
%X 介绍了一种适合于制备Si3N4陶瓷微细部件的微细制备技术．该技术主要包括Si粉的预烧结成形和微型加工以及反应烧结等三部分，结合了Si粉预烧结体的可加工性和Si3N4反应烧结所具有的近净尺寸成形特点，具有制备Si3N4陶瓷三维微细部件的优势．本研究利用该技术成功地制备了直径5mm、厚度1．2mm、叶片厚度大约70μm的Si3N4陶瓷微型转子．
%K ceramic MEMS
%K microdevices
%K microfabrication
%K silicon nitride
%K ceramic turbine rotor<br>陶瓷MEMS
%K 微型器件
%K 微制造
%K 氮化硅
%K 陶瓷转子
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=7E03F432BF93389C&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=13553B2D12F347E8&iid=94C357A881DFC066&sid=5A9F0976AE79CB6F&eid=126825C4749D880D&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=8