%0 Journal Article
%T γ-LiAlO2 Layer on (0001) Sapphire Fabricated by Vapor Transport Equilibration<br>用VTE方法在蓝宝石衬底上生长γ-LiAlO2薄膜
%A LI Shu-Zhi
%A XU Jun
%A YANG Wei-Qiao
%A ZHOU Jun
%A ZHOU Sheng-Ming
%A <br>李抒智
%A 徐军
%A 杨卫桥
%A 邹军
%A 周圣明
%J 无机材料学报
%D 2005
%I Science Press
%X 利用气相传输平衡技术(VTE)和后退火处理工艺在(0001)蓝宝石衬底上获得了高度100]取向的γ-LiAlO2薄膜．X射线衍射表明是由单相的γ-LiAlO2所组成,此薄膜经850～900℃／120h空气中退火处理后显示出高度的100]取向,这一实验结果意味着有望通过VTE方法制备用于GaN基器件外延生长的γ-LiAlO2(100)-Al2O3(0001)复合衬底.
%K GaN
%K 气相传输平衡技术（VTE）
%K γ-LiAlO2
%K 蓝宝石
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=8180679A0693A305&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=A04140E723CB732E&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=954CE65414DD94CA&eid=0584DB487B4581F4&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=11