%0 Journal Article %T 单室沉积非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池的研究 %A 郑新霞 %A 张晓丹 %A 杨素素 %A 王光红 %A 许盛之 %A 魏长春 %A 孙建 %A 耿新华 %A 熊绍珍 %A 赵颖 %J 物理学报 %D 2011 %I %X 在产业化比较成熟的单室沉积非晶硅薄膜太阳电池基础上,进行了非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池性能优化的研究.在生产线上纯单室沉积的非晶硅/非晶硅叠层太阳电池基础上,通过调节n-p隧穿结并采用自行研制开发的单室微晶硅底电池的沉积路线,获得了单室沉积的光电转换效率达到9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池. %K 硅基薄膜太阳电池 %K 三叠层 %K 微晶硅 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=E13A5442FC287077C33AD3AB70081174&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=B31275AF3241DB2D&sid=BC590A44565C2C6C&eid=BC590A44565C2C6C&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=12