%0 Journal Article
%T Controlled growth of silicon nanowires by solid-liquid-solid method and their formation mechanism<br>Si纳米线的固-液-固可控生长及其形成机理分析
%A Peng Ying-Cai
%A Fan Zhi-Dong
%A Bai Zhen-Hua
%A Ma Lei
%A <br>彭英才
%A 范志东
%A 白振华
%A 马蕾
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 以Au膜作为金属催化剂，直接从n-（111）Si单晶衬底上制备了直径为30—60 nm和长度从几微米到几十微米的高质量Si纳米线.实验研究了Au膜层厚、退火温度、N2气流量和生长时间对Si纳米线形成的影响.结果表明，通过合理选择和优化组合上述各种工艺条件，可以实现直径、长度、形状和取向可控的纳米线生长.基于固-液-固生长机理，定性阐述了Si纳米线的形成过程.
%K silicon nanowires
%K Au-Si liquid droplet alloys
%K solid-liquid-solid growth
%K structural characteristics<br>Si纳米线，
%K Au-Si液滴合金，
%K 固-液-固生长，
%K 结构表征
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=21D2B7F1AC60C9BE6F9308A829A4AC7F&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=0B39A22176CE99FB&sid=827D3389B7A27A64&eid=CA21EE48F5BB8E19&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0