%0 Journal Article
%T Research on the surface scattering properties of optical films by the total integrated scatter<br>利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究
%A Hou Hai-Hong
%A Sun Xi-Lian
%A Tian Guang-Lei
%A Wu Shi-Gang
%A Ma Xiao-Feng
%A Shao Jian-Da
%A Fan Zheng-Xiu
%A <br>侯海虹
%A 孙喜莲
%A 田光磊
%A 吴师岗
%A 马小凤
%A 邵建达
%A 范正修
%J 物理学报
%D 2009
%I 
%X 利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2（YSZ）薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根（RMS）粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究，并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合，对测量结果做出了合理解释，从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.
%K 光学薄膜，
%K 表面散射，
%K 总积分散射仪
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=5FE7FC988E10F44A7B5FE57D38109019&yid=DE12191FBD62783C&vid=9FFCC7AF50CAEBF7&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=3D203A5BF4998A99&eid=C34FBCAEEC32E4F6&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0