%0 Journal Article
%T Study on the focusing performance of the compound X-ray refractive lenses with fabrication errors<br>制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能影响研究
%A Le Zi-Chun
%A Zhang Ming
%A Dong Wen
%A Quan Bi-Sheng
%A Liu Wei
%A Liu Kai
%A <br>乐孜纯
%A 张明
%A 董文
%A 全必胜
%A 刘魏
%A 刘恺
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 本文主要介绍对X射线组合折射透镜的制作工艺误差对其聚焦性能影响的研究结果. 首先给出采用深度X射线光刻技术制作的PMMA材料圆柱面型X组合折射透镜的工艺测试结果,得出制作工艺误差值,定性分析制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能的影响. 然后根据实际的制作工艺误差建模,给出详尽的理论分析和定量的理论模拟结果. 最后在北京同步辐射装置(BSRF)上,构建基于PMMA材料的圆柱面型X射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统,实际测试了有明显工艺误差和尽量消除工艺误差的两种X射线组合折射透镜的聚焦性能,给出实测结果
%K compound X-ray refractive lens
%K fabrication error
%K X-ray focusing
%K synchrontron radiation<br>X射线组合折射透镜
%K 制作工艺误差
%K X射线聚焦性能
%K 同步辐射
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=E02851D71EDFC168D0354CCADA2C682D&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=D6B9F248EF5EC4E3&eid=873299BAB9C441E2&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=16