%0 Journal Article
%T Design and preparation of sub-wavelength antireflective structures on ZnS<br>ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备
%A Xu Qi-Yuan
%A Liu Zheng-Tang
%A Li Yang-Ping
%A Wu Qian
%A Zhang Miao
%A <br>徐启远
%A 刘正堂
%A 李阳平
%A 武倩
%A 张淼
%J 物理学报
%D 2011
%I 
%X ZnS是长波红外窗口优选材料之一,而其表面反射率较高;为了减小表面反射,利用耦合波理论,对ZnS衬底表面的亚波长结构参数进行优化设计,得到了具有良好增透效果的最佳亚波长结构参数;并利用掩膜光刻、反应离子刻蚀技术在ZnS衬底表面制备出在8—12 μm波段范围内有明显增透效果的二维亚波长结构,这为ZnS衬底的增透提供了一种新的方法.
%K coupled-wave theory
%K antireflection of sub-wavelength structure
%K reactive ion etching
%K ZnS<br>耦合波理论
%K 表面亚波长增透结构
%K 反应离子刻蚀
%K 硫化锌
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=3D48E629A5DBC64EB718F0983A1CF29E&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=26579FBE4EFA62A7&eid=26579FBE4EFA62A7&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=14