%0 Journal Article
%T Microstructure and magnetic properties of the cobalt ions implanted TiO2 films<br>Co离子注入TiO2薄膜的显微结构和磁性研究
%A Ding Peng
%A Liu Fa-Min
%A Yang Xin-An
%A Li Jian-Qi
%A <br>丁芃
%A 刘发民
%A 杨新安
%A 李建奇
%J 物理学报
%D 2011
%I 
%X 利用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了TiO2薄膜,并对其进行了Co离子注入,最后在真空中500 ℃退火50 min,得到系列薄膜样品. 利用剥离-分散方法制备了薄膜的透射电镜样品,并用扫描电镜(SEM)、X射线能量散射谱(EDX)和高分辨透射电镜(HRTEM)对样品做了近似原位观察,研究了薄膜样品中不同Co离子注入深度的成分分布和显微结构. 结果表明,薄膜呈锐钛矿结构,Co元素主要分布在薄膜表层,Co离子的注入使TiO2薄膜的晶粒被部分破坏,并形成CoO,而5
%K cobalt ions implanted TiO2 films
%K in-situ observation by HRTEM and SEM
%K room temperature ferromagnetism<br>Co注入TiO2薄膜
%K 电镜原位观察
%K 室温铁磁性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=268D5213E7EB83EA3B449EABDD9BC2BD&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=38B194292C032A66&sid=B19428C1E3FDE03E&eid=91BAD12CFABB3251&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=19