%0 Journal Article
%T A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect<br>基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究
%A Xie Li-Qiang
%A Wu Xue-Zhong
%A Li Sheng-Yi
%A Wang Hao-Xu
%A Dong Pei-Tao
%A <br>谢立强
%A 吴学忠
%A 李圣怡
%A 王浩旭
%A 董培涛
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6 kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性.
%K micromachined quartz gyroscope
%K shear stress detection
%K Coriolis force<br>石英陀螺
%K 剪应力检测
%K Coriolis力
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=17FEF1751D20EF9472462B472B1EAE70&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=71BC26BE27427048&eid=46B932EF4CDB5416&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=15